Distorsion compensating device for scanning light

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    JP-2013205685-AOctober 07, 2013Kawasaki Heavy Ind Ltd, 川崎重工業株式会社光走査装置及びレーザ加工装置
    WO-2013145683-A1October 03, 2013川崎重工業株式会社光走査装置及びレーザ加工装置